规格/型号

MicroNano D5A

放置地点

机械工程学院慎思楼6栋工程中心

技术指标

1.扫描模式：STM恒流/恒高模式形貌检测, 针尖修饰功能

2.纳米加工功能：电脉冲刻蚀

3.扫描方式：扫描器与样品连接，采用样品扫描方式

4.样品尺寸≤Φ20mm，样品厚度≤10mm

5.扫描范围：6μm×6μm

6.分辨率：X-Y向0.1nm；Z向0.01nm

主要功能

材料微纳结构形貌测量和物化特性分析、台阶/膜厚测量、粗糙度分析、颗粒度分析、剖面分析和、膜厚分析和压痕/机械刻画加工等。

责任人

夏国峰 15202314420

联系人

夏国峰 15202314420